Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers
Produktnummer:
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| Themengebiete: | Technologie VLSI production quality semiconductor devices |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 17.09.1998 |
| EAN: | 9783540616726 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 616 |
| Produktart: | Gebunden |
| Herausgeber: | Hattori, Takeshi |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Untertitel: | Secrets of VLSI Manufacturing |
Produktinformationen "Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers"
This book summarizes the knowledge and experience of the successful Japanese semiconductor companies. For the first time the secrets of processing of semiconductor surfaces for device production are disclosed. All the people and companies involved in manufacturing of silicon-based semiconductor devices should have this book.
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