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Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers

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Produktnummer: 182d169cc6903448bab074774768145d4d
Themengebiete: Technologie VLSI production quality semiconductor devices
Veröffentlichungsdatum: 07.12.2010
EAN: 9783642082726
Sprache: Englisch
Seitenzahl: 616
Produktart: Kartoniert / Broschiert
Herausgeber: Hattori, Takeshi
Verlag: Springer Berlin
Untertitel: Secrets of VLSI Manufacturing
Produktinformationen "Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers"
A totally new concept for clean surface processing of Si wafers is introduced in this book. Some fifty distinguished researchers and engineers from the leading Japanese semiconductor companies, such as NEC, Hitachi, Toshiba, Sony and Panasonic as well as from several universities reveal to us for the first time the secrets of these highly productive institutions. They describe the techniques and equipment necessary for the preparation of clean high-quality semiconductor surfaces as a first step in high-yield/high-quality device production. This book thus opens the door to the manufacturing of reliable nanoscale devices and will be extremely useful for every engineer, physicist and technician involved in the production of silicon semiconductor devices.
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