Strain Effect in Semiconductors
Sun, Yongke, Thompson, Scott E., Nishida, Toshikazu
Produktnummer:
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| Autor: | Nishida, Toshikazu Sun, Yongke Thompson, Scott E. |
|---|---|
| Themengebiete: | CMOS technology Semiconductor Sensor fundamental physics logic devices microelectromechanical system (MEMS) optoelectronic devices strain-based MEMS strain effect strain physics |
| Veröffentlichungsdatum: | 04.12.2009 |
| EAN: | 9781441905512 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 350 |
| Produktart: | Gebunden |
| Verlag: | Springer US |
| Untertitel: | Theory and Device Applications |
Produktinformationen "Strain Effect in Semiconductors"
Strain Effect in Semiconductors: Theory and Device Applications presents the fundamentals and applications of strain in semiconductors and semiconductor devices that is relevant for strain-enhanced advanced CMOS technology and strain-based piezoresistive MEMS transducers. Discusses relevant applications of strain while also focusing on the fundamental physics pertaining to bulk, planar, and scaled nano-devices. Hence, this book is relevant for current strained Si logic technology as well as for understanding the physics and scaling for future strained nano-scale devices.
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