Prozeßtechnologie
Schumicki, Günter, Seegebrecht, Peter
Produktnummer:
181ae260c6714942bab5adff525bcfe4b9
| Autor: | Schumicki, Günter Seegebrecht, Peter |
|---|---|
| Themengebiete: | CMOS Entwicklung Mikroelektronik Prozeßtechnologie Reinraumtechnik Schaltung Zuverlässigkeit |
| Veröffentlichungsdatum: | 08.03.1991 |
| EAN: | 9783540176701 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 500 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Untertitel: | Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen |
Produktinformationen "Prozeßtechnologie"
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