Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke
Schüle, Sven
Produktnummer:
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| Autor: | Schüle, Sven |
|---|---|
| Themengebiete: | Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik Mikrosystemtechnik modulare Mikrosysteme |
| Veröffentlichungsdatum: | 03.09.2010 |
| EAN: | 9783866445291 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 176 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | KIT Scientific Publishing |
Produktinformationen "Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren : ein mikrooptisches System auf der Basis mikrooptischer Bänke"
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
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