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Modellbasierte, adaptive Prozessregelung für das Laserstrahlstrukturieren

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Produktnummer: 18d1e6b15d8d614a76a4273034c27ea1b6
Autor: Pothen, Mario
Themengebiete: Informatik Prozessregelung Prozesstechnologie
Veröffentlichungsdatum: 27.01.2020
EAN: 9783863598082
Auflage: 1
Sprache: Deutsch
Seitenzahl: 160
Produktart: Buch
Verlag: Apprimus Verlag
Produktinformationen "Modellbasierte, adaptive Prozessregelung für das Laserstrahlstrukturieren"
Beim Laserstrahlstrukturieren sorgen eine Vielzahl von Parameterkombinationen für ein nicht vorhersagbares Abtragergebnis. In dieser Dissertation wurde ein automatisiertes Verfahren zur Bestimmung von zeitlichen Parametern der Scannerspiegel entwickelt, welches Einbrandeffekte an Strukturrändern verhindert. Außerdem wurde ein Messgerät für eine online-adaptive Regelung in den Prozess integriert, welches den Abtragprozess kontinuierlich überwacht und entsprechend der programmierten Abtragtiefe regelt.
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