Micro and Nano Fabrication
Gatzen, Hans H., Saile, Volker, Leuthold, Jürg
Produktnummer:
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| Autor: | Gatzen, Hans H. Leuthold, Jürg Saile, Volker |
|---|---|
| Themengebiete: | MEMS MNEMS Micro Electro-mechanical Systems NEMS Nano Electro-mechanical Systems Thin-film fabrication fabrication processes fabrication tools |
| Veröffentlichungsdatum: | 20.01.2015 |
| EAN: | 9783662443941 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 519 |
| Produktart: | Gebunden |
| Verlag: | Springer Berlin |
| Untertitel: | Tools and Processes |
Produktinformationen "Micro and Nano Fabrication"
For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.
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