Laserfunktionalisierung von nasschemisch applizierten piezoelektrischen Blei-Zirkonat- Titanat-Schichten
Meixner, Melanie
Produktnummer:
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| Autor: | Meixner, Melanie |
|---|---|
| Themengebiete: | Dünnschichttechnik Lasermaterialbearbeitung Lasertechnik |
| Veröffentlichungsdatum: | 25.01.2016 |
| EAN: | 9783863593957 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 166 |
| Produktart: | Buch |
| Verlag: | Apprimus Verlag |
Produktinformationen "Laserfunktionalisierung von nasschemisch applizierten piezoelektrischen Blei-Zirkonat- Titanat-Schichten"
In dieser Arbeit wird ein laserbasiertes Verfahrens zur Herstellung piezoelektrischer Schichten aus Blei-Zirkonat-Titanat (PZT) entwickelt. Die konventionellen Prozesse zur thermischen Nachbehandlung der Schichten werden dabei durch laserbasierte Trocknung, Pyrolyse und Kristallisation ersetzt. Wesentliche Vorteile der Lasernachbehandlung sind ein ortsselektiver Energieeintrag, der die Anwendung auf temperaturempfindlichen Substraten und Baugruppen ermöglicht, sowie die Inline-Fähigkeit.
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