Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis
Kopf, Marlene
Produktnummer:
184e9280aa86494bd2ad97049e5640415a
| Autor: | Kopf, Marlene |
|---|---|
| Themengebiete: | Drehratensensor Dämpfung Inertialsensor Ingenieurwissenschaften MEMS-Sensor MEMS sensor Maschinenbau Q-Faktor Q factor TECHNOLOGY & ENGINEERING / Automation damping atmosphere gyroscope inertial sensor |
| Veröffentlichungsdatum: | 31.03.2022 |
| EAN: | 9783731511212 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 220 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | KIT Scientific Publishing |
Produktinformationen "Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis"
Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfu¨giger Vera¨nderungen der Da¨mpfungsatmospha¨re in Sensorkavernen auf die Zuverla¨ssigkeit der Sensoren immer gro¨ßer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht, die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken, und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt auf Desorptionsquellen sowie Gasdiffusionspfaden im Sensoraufbau. Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of gyroscopes are investigated and countermeasures are presented. A focus is placed on desorption sources as well as gas diffusion paths in the sensor layer stack.
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