Introduction to VLSI Process Engineering
Produktnummer:
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| Themengebiete: | manufacturing process engineering semiconductor semiconductor technology silicon |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 30.06.1993 |
| EAN: | 9780412395505 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 210 |
| Produktart: | Gebunden |
| Herausgeber: | McGreavy, C. Naka, Y. Sugawara, K. |
| Verlag: | Springer Netherland |
Produktinformationen "Introduction to VLSI Process Engineering"
Integrated circuits are finding ever wider applications through a range of industries. Introduction to VLSI Process Engineering presents the design principles for devices, describes the overall VLSI process, and deals with the essential manufacturing technologies and inspection procedures.
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