Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren
Grund, Thomas
Produktnummer:
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| Autor: | Grund, Thomas |
|---|---|
| Themengebiete: | Aktorik Formgedächtnislegierung Mikrosystemtechnik Serienfertigung Ventil |
| Veröffentlichungsdatum: | 01.06.2010 |
| EAN: | 9783866444966 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 125 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | KIT Scientific Publishing |
Produktinformationen "Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren"
Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eignung auch für größerer Stückzahlen durch Übertragungstechniken auf der Waferebene vermieden. Als Demonstratorsystem dient ein Kunststoff-Mikroventil mit einem Aktor aus einer Formgedächtnislegierung.
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