Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Teutsch, Michael
Produktnummer:
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| Autor: | Teutsch, Michael |
|---|---|
| Themengebiete: | LIGA Mikrosysteme Nickel Superlegierung |
| Veröffentlichungsdatum: | 07.06.2013 |
| EAN: | 9783731500261 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 201 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | KIT Scientific Publishing |
Produktinformationen "Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen"
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.
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