Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Teutsch, Michael
| Autor: | Teutsch, Michael |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 19.05.2014 |
| EAN: | 9783731500261 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 202 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Karlsruher Institut für Technologie Karlsruher Institut für Technologie (KIT) |
Produktinformationen "Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen"
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