Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
Olbrich, Walter
Produktnummer:
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| Autor: | Olbrich, Walter |
|---|---|
| Themengebiete: | Energie Entwicklung Fallen Messverfahren Optimierung Orientierung Rauheit Technologie Temperatur Thermisch |
| Veröffentlichungsdatum: | 21.10.1994 |
| EAN: | 9783540585114 |
| Sprache: | Deutsch |
| Seitenzahl: | 126 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Verlag: | Springer Berlin |
Produktinformationen "Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren"
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