Electroceramic-Based MEMS
Produktnummer:
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| Themengebiete: | Sensor ceramics communication electronics ferroelectrics microelectromechanical system (MEMS) thin film |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 03.03.2005 |
| EAN: | 9780387233109 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 414 |
| Produktart: | Gebunden |
| Herausgeber: | Setter, Nava |
| Verlag: | Springer US |
| Untertitel: | Fabrication-Technology and Applications |
Produktinformationen "Electroceramic-Based MEMS"
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