CMOS Cantilever Sensor Systems
Lange, D., Baltes, H., Brand, O.
| Autor: | Baltes, H. Brand, O. Lange, D. |
|---|---|
| Themengebiete: | CMOS Nanotechnologie Steuerung (elektronisch) Technik / Physik Technologie / Nanotechnologie |
| Veröffentlichungsdatum: | 23.07.2002 |
| EAN: | 9783540431435 |
| Auflage: | 2002 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 156 |
| Produktart: | Gebunden |
| Verlag: | Springer-Verlag GmbH Springer Berlin Heidelberg |
| Untertitel: | Atomic Force Microscopy and Gas Sensing Applications |
Produktinformationen "CMOS Cantilever Sensor Systems"
This book describes a vital measuring principle for analysing integrated circuits with a nano-electro-mechanical systemIncludes supplementary material: sn.pub/extras
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