Atomic Layer Deposition for Semiconductors
Produktnummer:
182ace5f9df17840fbafb394ad6a893f56
| Themengebiete: | ALD for mass-production memories ALD modeling ALD simulations Atomic Layer Deposition Modern Semiconductor Devices |
|---|---|
| Veröffentlichungsdatum: | 23.08.2016 |
| EAN: | 9781489979438 |
| Sprache: | Englisch |
| Seitenzahl: | 263 |
| Produktart: | Kartoniert / Broschiert |
| Herausgeber: | Hwang, Cheol Seong |
| Verlag: | Springer US |
Produktinformationen "Atomic Layer Deposition for Semiconductors"
This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for memories covers both mass-produced memories, such as DRAM and Flash, and emerging memories, such as PCRAM and FeRAM. The section on ALD for logic devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes. The final section on ALD for machines looks at toolsets and systems hardware. Each chapter provides the history, operating principles, and a full explanation of ALD processes for each device.
Sie möchten lieber vor Ort einkaufen?
Sie haben Fragen zu diesem oder anderen Produkten oder möchten einfach gerne analog im Laden stöbern? Wir sind gerne für Sie da und beraten Sie auch telefonisch.
Juristische Fachbuchhandlung
Georg Blendl
Parcellistraße 5 (Maxburg)
8033 München
Montag - Freitag: 8:15 -18 Uhr
Samstags geschlossen